明伽半导体4英寸氧化镓晶圆衬底技术取得突破
元宇在线12月9日消息，北京明嘎半导体有限公司近日利用导模法成功制备出高质量4英寸（001）主面氧化镓（β-Ga2O3）单晶，并完成了4英寸氧化镓晶片 衬底技术取得突破，经过反复实验，成为国内首家掌握第四代半导体氧化镓材料4英寸（001）相单晶衬底生长技术的产业化企业。
根据晶圆测试分析，其结晶质量和加工工艺也保持在产品级标准。劳厄测试衍射斑点清晰对称，说明该晶体单晶性好，无孪晶。 XRD显示晶面（001）的半峰全宽低至72arcsec，处理后晶圆的表面粗糙度AFM（Rq）低至0.5nm。
稳定的氧化镓晶体具有单斜结构，有两个解理面（100）和（001）。就生长过程而言，主晶面为（100）晶相，氧化镓晶体更容易生长，主晶面为（001）。 ) 晶体生长过程对过程控制要求极高。就加工工艺而言，同等加工条件下，(001)面的表面质量和成品率更好，而(100)面易解理断裂，难以实现高效率.表面质量加工。从应用的角度来看，主面（001）晶相氧化镓更适合功率半导体器件使用，因此主面（001）晶相氧化镓晶体的生长控制难度较大，但如果没有大尺寸主面（001）晶相的氧化镓晶体的生长工艺，或者没有巨大的工业价值，那么氧化镓市场应用端的推广将极其困难。
同时，明嘎公司的光学晶体已完成中试，开始向规模化量产转型。其生产的掺杂人造光学晶体得到了客户的广泛认可。此外，磷化铟多晶材料生产线也已投产，重点已建成。客户认证工作并获得长期稳定的订单。
小编了解到，北京铭嘎半导体有限公司是新型高频大功率半导体材料产业化的先行者之一。致力于半导体人造晶体产业的多元化发展，从事相关高频大功率器件的设计开发。工业化。 R
今年6月底，铭嘎半导体完成近亿元A轮融资。本轮融资主要用于氧化镓项目的扩产和研发。完整的氧化镓产业线。 2021年实现2英寸氧化镓衬底材料小批量生产。除科研院所研发外，还将小批量提供给重要企业客户使用。
铭嘎半导体国际研发中心核心成员
明镓半导体自主研发，建成满足氧化镓单晶生长、氧化镓异质/均质外延片生长、多掺杂大规模人工光学晶体生长、磷化铟多晶/单晶生长需求的设施、晶体加工、芯片器件系统生产和测试等技术开发和成品量产的创新研发基地。为全国从事高频大功率半导体材料后端器件开发的科研机构和企业提供上游材料支持。
